Rivestimento con Getter non evaporabili (NEG)
SAES Getters è l’azienda con la maggior esperienza nella tecnologia per il rivestimento NEG (più di 15 anni di attività di deposizione) e il più ampio numero di utilizzatori finali (oltre 20). L’impianto di rivestimento copre un’area di 120 m2 a temperatura e umidità controllate. Nella stessa area è collocata una clean room ISO 5, usata per le operazioni di montaggio.
Il reparto di deposizione NEG è equipaggiato con diversi sistemi di sputtering e con banco UHV per effettuare prove di assorbimento su camere mediante il metodo del “transmission factor”. Con gli impianti attuali, e grazie all’esperienza acquisita negli anni, è possibile effettuare rivestimenti su camere lunghe fino a 6,5 m con gap di 7-8 mm.
Il montaggio dei catodi utilizzati durante il processo di sputtering dipende dalla sezione e dalla geometria della camera e può essere ottimizzato in base a modelli matematici sviluppati internamente. Questo permette di valutare e quindi ottimizzare la distribuzione dello spessore del rivestimento lungo il profilo della camera. Questo consente inoltre di poter trovare per ogni singola geometria della camera il compromesso migliore tra velocità di pompaggio e impedenza elettrica del rivestimento.
Sfruttando l’esperienza decennale di SAES Getter nella tecnologia dei rivestimenti NEG, SAES RIAL Vacuum può dunque offrire ai propri utilizzatori soluzioni chiavi in mano, basate sulla camera rivestita del deposito NEG.
È di fondamentale importanza nei sistemi da vuoto saper simulare e prevedere l’evoluzione della pressione, per esempio in funzione della distribuzione delle pompe, delle superfici di degasaggio e della geometria del sistema. Questo consente di ottimizzare la progettazione del sistema stesso, minimizzando per esempio il gruppo di pompaggio o riducendo, fin dalla fase iniziale eventuali fattori critici. SAES RIAL Vacuum può effettuare calcoli con programmi di riconosciuta validità nella comunità scientifica del vuoto, come MOLFLOW+, VASCO, LTspice, e anche con codici sviluppati internamente, come SimulaTorr.
Un esempio di modello della distribuzione dello spessore del rivestimento NEG lungo la sezione di una camera è mostrato nelle immagini per un dato profilo della camera.
In questo caso il modello fisico comprende l’utilizzo di tre catodi.
Lo spessore del rivestimento e la composizione chimica dopo il processo di deposizione possono essere certificati tramite misure sperimentali su coupon in silicio rappresentativi del processo di sputtering.
I coupon in silicio sono inseriti in camere di estensione collegate alla camera che si vuole depositare ed esposti allo stesso processo di rivestimento.
