{"id":12450,"date":"2016-08-02T19:09:43","date_gmt":"2016-08-02T17:09:43","guid":{"rendered":"http:\/\/saesrial.com\/non-evaporable-getter-neg-coating\/"},"modified":"2017-03-21T16:47:43","modified_gmt":"2017-03-21T15:47:43","slug":"rivestimento-con-getter-non-evaporabili-neg","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/saesrial.com\/it\/rivestimento-con-getter-non-evaporabili-neg\/","title":{"rendered":"Rivestimento con Getter non evaporabili (NEG)"},"content":{"rendered":"
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Rivestimento con Getter non evaporabili (NEG)<\/strong><\/h2>
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SAES Getters \u00e8 l\u2019azienda con la maggior esperienza nella tecnologia per il rivestimento NEG (pi\u00f9 di 15 anni di attivit\u00e0 di deposizione) e il pi\u00f9 ampio numero di utilizzatori finali (oltre 20). L’impianto di rivestimento copre un’area di 120 m2<\/sup> a temperatura e umidit\u00e0 controllate. Nella stessa area \u00e8 collocata una clean room ISO 5, usata per le operazioni di montaggio.
\nIl reparto di deposizione NEG \u00e8 equipaggiato con diversi sistemi di sputtering e con banco UHV per effettuare prove di assorbimento su camere mediante il metodo del \u201ctransmission factor\u201d. Con gli impianti attuali, e grazie all\u2019esperienza acquisita negli anni, \u00e8 possibile effettuare rivestimenti\u00a0 su camere lunghe fino a 6,5 m con gap di 7-8 mm.<\/p>\n

Il montaggio dei catodi utilizzati durante il processo di sputtering dipende dalla sezione e dalla geometria della camera e pu\u00f2 essere ottimizzato in base a modelli matematici sviluppati internamente. Questo permette di valutare e quindi ottimizzare la distribuzione dello spessore del rivestimento lungo il profilo della camera. Questo consente inoltre di poter trovare per ogni singola geometria della camera il compromesso migliore tra velocit\u00e0 di pompaggio e impedenza elettrica del rivestimento.
\nSfruttando l’esperienza decennale di SAES Getter nella tecnologia dei rivestimenti NEG, SAES RIAL Vacuum pu\u00f2 dunque offrire ai propri utilizzatori soluzioni chiavi in mano<\/strong>, basate sulla camera rivestita del deposito NEG.<\/p>\n

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\u00c8 di fondamentale importanza nei sistemi da vuoto saper simulare e prevedere l’evoluzione della pressione, per esempio in funzione della distribuzione delle pompe, delle superfici di degasaggio e della geometria del sistema. Questo consente di ottimizzare la progettazione del sistema stesso, minimizzando per esempio il gruppo di pompaggio o riducendo, fin dalla fase iniziale eventuali fattori critici. SAES RIAL Vacuum pu\u00f2 effettuare calcoli con programmi di riconosciuta validit\u00e0 nella comunit\u00e0 scientifica del vuoto, come MOLFLOW+, VASCO, LTspice, e anche con codici sviluppati internamente, come SimulaTorr.<\/p>\n

Un esempio di modello della distribuzione dello spessore del rivestimento NEG lungo la sezione di una camera \u00e8 mostrato nelle immagini per un dato profilo della camera.<\/p>\n

In questo caso il modello fisico comprende l\u2019utilizzo di tre catodi.<\/p>\n

Lo spessore del rivestimento e la composizione chimica dopo il processo di deposizione possono essere certificati tramite misure sperimentali su coupon in silicio rappresentativi del processo di sputtering.<\/p>\n

I coupon in silicio sono inseriti in camere di estensione collegate alla camera che si vuole depositare ed esposti allo stesso processo di rivestimento.<\/p>\n

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